薄膜測量系統用于測量薄膜反射率及膜層厚度

薄膜測量系統是專門(mén)針對半導體(tǐ)、材料、生(shēng)物醫(yī)學薄膜的實驗室分析及在線監測開(kāi)發的，用于測量薄膜反射率及膜層厚度的綜合測量系統。    該系統基于白光反射及幹涉的原理(lǐ)來(lái)确定光學薄膜的厚度。可(kě)以通(tōng)過對白光幹涉圖樣進行(xíng)數學運算(suàn)來(lái)計算(suàn)出薄膜厚度。對于單層膜來(lái)說，如果已知薄膜的n和(hé)k值就可(kě)以計算(suàn)出它的物理(lǐ)厚度。       AvaSoft-Thinfilm軟件內(nèi)有(yǒu)一個(gè)包含大(dà)部分常用材料和(hé)膜層的n值和(hé)k值的數據庫。TFProbe多(duō)層膜測量軟件可(kě)以測量多(duō)達5層膜的厚度和(hé)光學常數（n、k值），實現實時(shí)或在線膜厚和(hé)折射率監控。

參數指标：

• 光譜範圍 200~1100nm 測量速度 2 ms minimum
• 膜厚範圍 10nm~200μm基底厚度up to 50mm thick
• 分辨率 1nm 測量精度 better than 0.25%

典型應用領域：

• Semiconductor fabrication (PR, Oxide, Nitride..) 半導體(tǐ)制(zhì)造
• Liquid crystal display (ITO, PR, Cell gap…..) 液晶顯示器(qì)
• Forensics, Biological films and materials 醫(yī)學、生(shēng)物薄膜或材料
• Inks, Mineralogy, Pigments, Toners 印刷油墨，礦物學，顔料，碳粉
• Pharmaceuticals, Medial Devices 制(zhì)藥
• Optical coatings, TiO2, SiO2, Ta2O5….. 光學薄膜
• Semiconductor compounds 半導體(tǐ)化合物
• Functional films in MEMS/MOEMS 功能薄膜材料
• Amorphous, nano and crystalline Si 非晶矽

AvaSoft-Thinfilm應用系統可(kě)以搭配多(duō)種應用系統附件，例如光纖多(duō)路複用器(qì)、顯微鏡、過真空(kōng)裝置等附件，實現多(duō)點位同時(shí)測量、微區(qū)測量、過程監控等複雜領域的應用。 例如：AvaSoft-Thinfilm應用系統能夠實時(shí)監控膜層厚度，并且可(kě)以與其他AvaSoft應用軟件如XLS輸出到Excel軟件和(hé)過程監控軟件一起使用。

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