使用反射型光纖探頭在線監測鍍膜生(shēng)産過程

在鍍膜過程中需要對一些(xiē)重要參數進行(xíng)監控，如膜層厚度、成分、表面光潔度、光透射率、反射系數、偏振特性等，都可(kě)以利用光譜學和(hé)雙光束幹涉的方法進行(xíng)測量。光纖的使用為(wèi)監控過程提供了靈活的工具，可(kě)以使光方便地進入或導出遠方的真空(kōng)超淨室，而且可(kě)以同時(shí)為(wèi)膜層分析提供多(duō)個(gè)幾何量的測量選擇。膜層的照明(míng)和(hé)發光的探測可(kě)以在相對于膜層的不同光纖位置進行(xíng)，可(kě)以測量鏡面反射、漫反射、傳輸、偏振、幹涉、熒光和(hé)拉曼散射等。可(kě)以利用多(duō)根光纖同時(shí)監測多(duō)個(gè)參數，或者在不同的空(kōng)間(jiān)位置或掩模條件下同時(shí)測量。

用幾個(gè)适宜結構的光纖探頭，就可(kě)以在線監測生(shēng)産的全過程。在一些(xiē)場(chǎng)合中，可(kě)以通(tōng)過監測離子源（如等離子源）的光譜輻射來(lái)确定鍍膜過程中的條件效率。

     對于大(dà)多(duō)數此類監測系統來(lái)說都需要專門(mén)的實驗布局，我們可(kě)以為(wèi)您提供适合您應用的實驗布局，這裏僅舉一個(gè)應用系統的例子。
      在這裏使用一個(gè)反射型光纖探頭來(lái)在線監測鍍膜生(shēng)産過程。光纖通(tōng)過過真空(kōng)裝置進入真空(kōng)室，然後傳到反射探頭上(shàng)。反射光經過另一個(gè)過真空(kōng)裝置，進入光譜儀的一個(gè)測量通(tōng)道(dào)。反射型探頭可(kě)以用SMA接頭拆下。還(hái)可(kě)以再增加一個(gè)光譜儀通(tōng)道(dào)，用來(lái)進行(xíng)參考測量或補償光源本身的波動對測量結果的影(yǐng)響。

• 上(shàng)一篇：顔色應用軟件用光譜儀系統進行(xíng)顔色測量
• 下一篇：薄膜測量系統用于測量薄膜反射率及膜層厚度