微型紅外光譜儀具有(yǒu)許多(duō)優勢

　　

　　一般分為(wèi)兩類，一種是光栅掃描的，很(hěn)少(shǎo)使用；另一種是邁克爾遜幹涉儀掃描的，稱為(wèi)傅立葉變換微型紅外光譜儀，這是目前廣泛使用的。光栅掃描的是利用分光鏡将檢測光(紅外光)分成兩束，一束作(zuò)為(wèi)參考光，一束作(zuò)為(wèi)探測光照射樣品，再利用光栅和(hé)單色儀将紅外光的波長分開(kāi)，掃描并檢測逐個(gè)波長的強度，後整合成一張譜圖。傅立葉變換微型紅外光譜儀是利用邁克爾遜幹涉儀将檢測光(紅外光)分成兩束，在動鏡和(hé)定鏡上(shàng)反射回分束器(qì)上(shàng)，這兩束光是寬帶的相幹光，會(huì)發生(shēng)幹涉。相幹的紅外光照射到樣品上(shàng)，經檢測器(qì)采集，獲得(de)含有(yǒu)樣品信息的紅外幹涉圖數據，經過計算(suàn)機對數據進行(xíng)傅立葉變換後，得(de)到樣品的紅外光譜圖。傅立葉變換微型紅外光譜儀具有(yǒu)掃描速率快，分辨率高(gāo)，穩定的可(kě)重複性等特點，被廣泛使用。

　　

　　微型紅外光譜儀具有(yǒu)許多(duō)優勢，已成為(wèi)一個(gè)重要的研究熱點。雖然采用組裝技術可(kě)以減小(xiǎo)光譜儀的尺寸，但(dàn)由于其效率低(dī)、成本高(gāo)的固有(yǒu)缺陷，制(zhì)約了其大(dà)規模使用的可(kě)能。采用基于MEMS的一體(tǐ)化集成技術，則可(kě)以克服這一缺陷。雖然目前光譜儀的集成化成本較高(gāo)，但(dàn)随着MEMS技術的迅猛發展，以及光學元件設計的優化，該技術将成為(wèi)光譜儀微型化的發展方向。