兩種規格型号的等離子體(tǐ)光譜儀有(yǒu)哪些(xiē)特點
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等離子體(tǐ)發射光譜研究是了解放電(diàn)條件下氣體(tǐ)狀态的有(yǒu)效手段和(hé)用于無幹擾診斷等離子體(tǐ)狀态參數的方法。它為(wèi)研究不同實驗參數下的等離子體(tǐ)行(xíng)為(wèi)提供了一種很(hěn)好的方法。通(tōng)過采集射頻磁控濺射過程中等離子體(tǐ)發射光譜,可(kě)以計算(suàn)出電(diàn)子密度和(hé)電(diàn)子溫度,并且能夠分析濺射功率、工作(zuò)壓強等實驗參數對等離子體(tǐ)狀态的影(yǐng)響。
AvaSpec Multi-channel系列等離子體(tǐ)光譜儀基于Avantes公司的AvaBench-75光學平台,采用模塊化設計,可(kě)以配置成單通(tōng)道(dào)、雙通(tōng)道(dào)、四通(tōng)道(dào)或多(duō)通(tōng)道(dào)(可(kě)達10個(gè)通(tōng)道(dào))。每個(gè)通(tōng)道(dào)可(kě)以設置不同的積分時(shí)間(jiān)或信号平均次數,且各通(tōng)道(dào)同步采集。等離子體(tǐ)光譜儀有(yǒu)兩種規格型号,AvaSpec-ULS2048-x-USB2和(hé)AvaSpec-ULS3648-x-USB2(x代表通(tōng)道(dào)數)。
AvaSpec-ULS2048光譜儀在接受外觸發信号之後僅延遲1.3微秒(miǎo)就開(kāi)始采樣。此外,該光譜儀也可(kě)以發出TTL信号來(lái)觸發脈沖激光器(qì)或脈沖光源,并可(kě)設置開(kāi)始采樣的時(shí)間(jiān)延遲(-20ns至89sec,步長21ns)。适用于需要快速響應或時(shí)序控制(zhì)的應用(時(shí)間(jiān)抖動±21ns)。AvaSpec-ULS3648光譜儀CCD像素數多(duō),分辨率比AvaSpec-ULS2048光譜儀提高(gāo)了約30%,但(dàn)靈敏度降低(dī)了50%。
的AvaSpec-USB3.0平台為(wèi)多(duō)通(tōng)道(dào)的應用提供了塊化。每個(gè)通(tōng)道(dào)可(kě)以設置不同的積分時(shí)間(jiān)或信号平均次數,而且可(kě)以各個(gè)通(tōng)道(dào)同步地開(kāi)始掃描。并可(kě)以通(tōng)過*的Store to RAM功能實現多(duō)通(tōng)道(dào)高(gāo)速同步測量,采樣頻率可(kě)達900幅/秒(miǎo)。此外,每個(gè)通(tōng)道(dào)都可(kě)以選用不同類型的探測器(qì),覆蓋很(hěn)寬的波長範圍,實現高(gāo)分辨率的測量。