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顯微光譜分析又稱微區(qū)光譜分析,是通(tōng)過光學顯微鏡等輔助光學設備,采集微小(xiǎo)區(qū)域的光信号進行(xíng)樣品光譜分析的一種方法。
顯微光譜分析是對比普通(tōng)光譜分析而言。通(tōng)常普通(tōng)光譜分析是指普通(tōng)光纖光譜儀通(tōng)過光纖将光信号導入光譜之中。但(dàn)是由于光纖收集的是發散光(一般光譜光纖數值孔徑為(wèi)0.22),因此普通(tōng)光纖光譜儀僅能采集較大(dà)空(kōng)間(jiān)的光信号。測試信号并不理(lǐ)想。
後來(lái),人(rén)們通(tōng)過光學顯微鏡配合光纖光譜儀進行(xíng)樣品空(kōng)間(jiān)分辨分析使得(de)樣品的空(kōng)間(jiān)分辨率得(de)到了大(dà)大(dà)的提高(gāo)。為(wèi)了獲得(de)更高(gāo)的分辨率一方面是要提高(gāo)顯微鏡的分辨率,另外一方面是要提高(gāo)光纖光譜儀的性能和(hé)兩者之間(jiān)的配合性能。