等離子體(tǐ)測量光譜儀的參數及應用

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AvaSpec PlasLine系列等離子體(tǐ)測量光譜儀基于Avantes公司的Avabench-75光學平台，采用模塊化設計，可(kě)以配置成單通(tōng)道(dào)、雙通(tōng)道(dào)、四通(tōng)道(dào)或多(duō)通(tōng)道(dào)（多(duō)10通(tōng)道(dào)）。每個(gè)通(tōng)道(dào)可(kě)以設置不同的積分時(shí)間(jiān)或信号平均次數，且各通(tōng)道(dào)同步采集。

AvaSpec PlasLine系列光譜儀有(yǒu)兩種規格型号，AvaSpec-2048-x-USB2和(hé)AvaSpec-3648-x-USB2 (x代表通(tōng)道(dào)數)。可(kě)以實現波長範圍200-1100nm、高(gāo)分辨率0.1nm的等離子體(tǐ)光譜診斷。

AvaSpec-2048光譜儀可(kě)在接受外觸發信号僅延遲1.3 µs後開(kāi)始采樣（時(shí)間(jiān)抖動± 21 ns），也可(kě)發出TTL信号來(lái)觸發脈沖激光器(qì)或高(gāo)壓脈沖電(diàn)源，并可(kě)設置開(kāi)始采樣的時(shí)間(jiān)延遲（-20 ns至89 sec，步長21 ns），适用于需要快速響應或時(shí)序控制(zhì)的應用。

AvaSpec-3648光譜儀的像素數多(duō)，光譜分辨率相對AvaSpec-2048光譜儀提高(gāo)了約30%，但(dàn)靈敏度降低(dī)了50%。

的AvaSpec-USB2.0平台為(wèi)多(duō)通(tōng)道(dào)的應用提供了大(dà)可(kě)能的模塊化。可(kě)以通(tōng)過*的Stroe to RAM功能實現多(duō)通(tōng)道(dào)高(gāo)速同步測量，大(dà)采樣頻率可(kě)達900幅光譜/秒(miǎo)（僅AvaSpec-2048光譜儀）。

AvaSpec PlasLine系列等離子體(tǐ)測量光譜儀的應用非常廣泛：

受控熱核聚變（托卡馬克）；

空(kōng)間(jiān)科學（等離子體(tǐ)推進技術）；

生(shēng)化處理(lǐ)（等離子體(tǐ)滅菌）；

微電(diàn)子與信息産業（芯片的蝕刻）；

材料合成與處理(lǐ)（等離子體(tǐ)沉積和(hé)刻蝕）；

國防（等離子體(tǐ)隐身技術）；

應用（LIBS技術）；

工業（焊接工藝）

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