光纖光譜儀在顯微光譜分析中的應用

　　顯微光譜分析又稱微區(qū)光譜分析，是通(tōng)過光學顯微鏡等輔助光學設備，采集微小(xiǎo)區(qū)域的光信号進行(xíng)樣品光譜分析的一種方法。
　　
　　顯微光譜分析是對比普通(tōng)光譜分析而言。通(tōng)常普通(tōng)光譜分析是指普通(tōng)光纖光譜儀通(tōng)過光纖将光信号導入光譜之中。但(dàn)是由于光纖收集的是發散光(一般光譜光纖數值孔徑為(wèi)0.22)，因此普通(tōng)光纖光譜儀僅能采集較大(dà)空(kōng)間(jiān)的光信号。測試信号并不理(lǐ)想。
　　
　　後來(lái)，人(rén)們通(tōng)過光學顯微鏡配合光纖光譜儀進行(xíng)樣品空(kōng)間(jiān)分辨分析使得(de)樣品的空(kōng)間(jiān)分辨率得(de)到了大(dà)大(dà)的提高(gāo)。為(wèi)了獲得(de)更高(gāo)的分辨率一方面是要提高(gāo)顯微鏡的分辨率，另外一方面是要提高(gāo)光纖光譜儀的性能和(hé)兩者之間(jiān)的配合性能。
　　
　　目前市場(chǎng)上(shàng)光纖光譜儀種類繁多(duō)，選擇一款适合的光纖光譜儀至關重要。複享光纖光譜儀提供的設備在市場(chǎng)上(shàng)一直在顯微光譜分析領域具有(yǒu)良好的口碑。如果您擁有(yǒu)光學顯微鏡，那(nà)麽進行(xíng)顯微光譜分析簡單的方法就是配備複享光纖光譜儀的 顯微鏡-光纖适配器(qì)對譜儀和(hé)顯微鏡進行(xíng)整合同時(shí)配合複享光纖光譜儀開(kāi)發的定制(zhì)軟件。然後，您就能輕輕松松的用顯微鏡和(hé)整合好的光纖光譜儀系統對樣品進行(xíng)信号分析。
　　
　　一般來(lái)說，如果您擁有(yǒu)50倍以上(shàng)的物鏡，在不做(zuò)光闌修飾的情況下，能夠做(zuò)到25微米見方區(qū)域的顯微光譜分析。當然，複享還(hái)能夠為(wèi)您提供更精細的顯微光譜分析。通(tōng)過複享光纖光譜儀的技術，顯微系統能将光譜儀的空(kōng)間(jiān)分辨率提高(gāo)至5微米見方。
　　
　　普通(tōng)光譜分析和(hé)顯微光譜分析已經具有(yǒu)技術的光譜分析對比表
　　
　　普通(tōng)光譜分析顯微光譜分析複享的顯微光譜分析
　　
　　空(kōng)間(jiān)分辨率能力典型1X1mm2小(xiǎo)25X25um2小(xiǎo)5X5um2
　　
　　角分辨能力無無有(yǒu)，詳見R6産品介紹
　　
　　大(dà)光譜波段200-2500nm380-780nm320-1100nm
　　
　　制(zhì)絨過程:
　　
　　制(zhì)絨是将電(diàn)池片表面刻蝕或腐蝕成不規則的粗糙表面。由于入射光在電(diàn)池片表面多(duō)次反射和(hé)折射、增加了光的吸收，提高(gāo)了電(diàn)池片的短(duǎn)路電(diàn)流和(hé)轉換效率。此時(shí)，可(kě)以利用測量反射率來(lái)衡量電(diàn)池片的制(zhì)絨效果。一般來(lái)說，在制(zhì)絨完成後，電(diàn)池片的反射率在35%左右。
　　
　　清洗過程:
　　
　　在制(zhì)絨過程後，需要對電(diàn)池片表面進行(xíng)一般的化學清洗。清洗後還(hái)要進行(xíng)脫水(shuǐ)處理(lǐ)。此時(shí)，可(kě)以利用測量反射率來(lái)衡量電(diàn)池片清洗效果。
　　
　　PECVD過程
　　
　　為(wèi)了進一步減少(shǎo)表面反射，提高(gāo)電(diàn)池的轉換效率，需要沉積一層SiN(氮化矽)減反射膜。現在工業生(shēng)産中常采用PECVD設備制(zhì)備減反射膜。PECVD即等離子體(tǐ)增強型化學氣相沉積。它的技術原理(lǐ)是利用低(dī)溫等離子體(tǐ)做(zuò)能量源，樣品置于低(dī)氣壓下輝光放電(diàn)的陰極上(shàng)，利用輝光放電(diàn)使樣品升溫到預定的溫度，然後通(tōng)入适量的反應氣體(tǐ)SiH4和(hé)NH3，氣體(tǐ)經一系列化學反應和(hé)等離子體(tǐ)反應，在樣品表面形成固态薄膜，即氮化矽薄膜。在反應過程中，可(kě)以使用高(gāo)分辨的等離子體(tǐ)監控儀進行(xíng)等離子體(tǐ)反應的原位監控。一般情況下，使用PECVD方法沉積的薄膜厚度在70nm左右。完成PECVD鍍膜後，需要使用橢偏儀和(hé)反射率儀綜合衡量電(diàn)池片的膜厚和(hé)反射率
　　
　　封裝過程
　　
　　在組件的表面需要封裝上(shàng)玻璃，起到保護電(diàn)池組件的作(zuò)用。現在一般使用增透型的壓花(huā)玻璃進行(xíng)封裝。壓花(huā)玻璃的透過率将直接影(yǐng)響電(diàn)池組件的發電(diàn)效率。因此，需要使用壓花(huā)玻璃透過率儀對封裝的壓花(huā)玻璃透過率進行(xíng)檢測。
　　
　　測試過程
　　
　　為(wèi)了衡量電(diàn)池組件的發電(diàn)效率，需要使用太陽光模拟器(qì)照射進行(xíng)發電(diàn)效率的測試。太陽光模拟器(qì)一般使用特殊的脈沖氙燈光源。由于脈沖氙燈光源具有(yǒu)使用壽命，因此，為(wèi)了獲取的效率數據，需要對太陽光模拟器(qì)的輻射情況進行(xíng)檢測。

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